上海三研 SYDC-100N型

氮氣保護浸漬提拉鍍膜機

一.產品應用

        本產品主要用于在氮氣氣氛保護下，采用溶膠-凝膠法等液相法制備薄膜材料。把潔凈干燥的基片浸入溶液（溶膠）中，通過預先設置的參數，將浸漬后的基片以一定速度垂直提拉起來。在基片上附著一層膜，稱為 “濕凝膠膜”，隨著“濕凝膠膜”膜層中溶劑的揮發，膜層在基片上固化成為“干凝膠膜”。“干凝膠膜”經過進一步的干燥及高溫熱處理便得到所需的納米薄膜材料。膜層厚度由提拉速度，液體濃度和液體粘度決定。

二.產品簡介

        浸漬提拉鍍膜機是是專門為氮氣氣氛保護下的液相法（特別是sol-gel法）制備薄膜材料的研究工作而設計。垂直提拉機構置于密閉箱體內，箱體側壁設有氮氣進口及壓力控制系統。鍍膜時，將溶液放入箱體內，基片加持在垂直提拉機構上，將氮氣充滿箱體（氮氣的充入量可通過控制箱體內的濕度來調節），設置鍍膜參數后即可在氮氣氣氛的保護下對溶液進行提拉鍍膜。

        適用于膜層易氧化、對濕度敏感的薄膜材料。還可充入氬氣等惰性氣體。

        提拉速度、提拉高度、浸漬時間、鍍膜次數（多次多層鍍膜）、鍍膜間隔時間均連續可調、精密控制。對鍍膜基質無特殊要求，片狀、塊狀、圓柱狀等均可鍍膜。運行穩定、工作時液面無振動，可極大提高實驗精度與實驗效率。

        適用于硅片、晶片、玻璃、陶瓷、金屬等所有固體材料表面涂覆工藝。應用于科學研究、產品生產。

三.產品特點

        1.精密的垂直提拉裝置。最近升級為瑞士原裝進口的垂直提拉裝置部件，采用特種功能材料制作，具有精密度高、傳動無間隙、運行平滑、耐腐蝕、終身免維護、使用壽命長等特點。

        2.采用伺服電機驅動。配合瑞士原裝進口的垂直提拉裝置和程序控制系統，確保運行精度及穩定性，已達到完全消除提拉震動的效果，確保涂膜均勻。

        3.多參數全自動程序控制。共有六個參數設置：下降速度、浸漬時間、提拉速度、鍍膜尺寸、鍍膜次數、鍍膜間隔時間，各參數均連續可調，精密控制。鍍膜程序設定后，從下降到浸漬，再到提拉鍍膜的整個鍍膜過程全自動運行。

        4.鍍膜程序設定后，從下降到浸漬，再到提拉鍍膜的整個鍍膜過程全自動運行。

        5.高、低速均運行平穩，鍍膜時液面無振動，使膜層更均勻、無條紋。

        6.采用4.3英寸液晶觸摸屏使控制更方便。運行時，各項參數實時顯示，更直觀了解鍍膜進程。

        7.上下兩端均安裝有限位傳感器，提拉或下降運行時，到限位處自動停止，避免提拉或下降的超限運行。

        8.采用獨特設計的平口型夾具，兩面均勻夾持樣片，不會夾壞樣片。

        9.高精度氮氣傳感器。以及獨有的氮氣節約裝置，氮氣消耗量非常低。

四.技術參數

        1.提拉速度范圍：1～6000 μm/s，最小分辨率1μm/s；

        2.速度精度：-0.02%～+0.02%

        3.提拉行程：約120 mm（以實際為準）

        4.適用基片尺寸：MIN 10×10 mm，MAX 100×100 mm，厚度MAX 10mm；

        5.浸漬時間：1～3600 s，最小分辨率1s；

        6.循環次數：1～1000次，最少1次；

        7.每次循環間隔時間：1～3600 s，最小分辨率1s；

        8.濕度控制范圍：1%～60%RH，最小可調1%RH；

        9.濕度精度：±3%

        10.溫度顯示范圍：-9℃～99℃

        11.電源：220V/50Hz