微納光電成像測試系統是一種利用顯微成像手段，通過不同波長激光進行探測，分析表征光電子器件的短路電流分布，表面缺陷， 反射率等參數。并通過掃描獲得的圖像，分析各種參數的平面均勻性，為光電器件的結構優化提供參考。激光通由顯微鏡聚焦到樣品表面，激光激發樣品產生光電流，光電流信號通過探針引出至電流源表，再通過軟件讀出。掃描時，通過電動位移臺的移動，激光的光斑在樣品的 XY 方向上掃描移動， 軟件記錄每一個激光聚焦光斑的位置和其對應的電流值，在軟件上同步描繪出光電流成像圖，顯示了樣品的電流分布。
技術參數
| 激光器（光源） | 標配532nm激光器，能量穩定性1%@4小時 |
| 顯微鏡模塊 | 反射式/透射式LED照明 物鏡：標配（20X， WD=7.5mm） 超長工作距離 ZD掃描范圍：260 x 200 μm （20x物鏡下） 位置重復性：小于1 μm 最小掃描步長：0.2μm 激光光斑：2μm |
| 數據采集 | 電流源表：Keithley 2450 測量范圍：1nA ? 1A 暗噪聲：50pA 分辨率：20fA |
| 探針臺模塊 | 直徑65mm真空吸附卡盤 探針座和樣品整體二維移動，樣品位置單獨二維移動，樣品位置移動行程25mm，分辨率5μm 探針座：XYZ行程12mm，分辨率0.7μm 探針：鎢針，直徑5μm，10μm，20μm可選 |
| 軟件 | 光電流掃描（Mapping）：可以設定固定的電壓，逐點獲取電流值 I-V曲線掃描（Mapping）：可以設定指定的電壓區間，逐點獲取I-V曲線 指定區域掃描（Mapping） |
| 光譜響應度測試（選配） | 光譜范圍200-1100nm，可以擴展到2500nm 光譜響應度曲線 量子效率曲線 偏壓設置功能 |
| 激光器（選項） | 波長：405nm或者635nm可選，其他波長咨詢銷售 能量穩定性：小于1%@2個小時 功率：10mW和30mW（可選） |
測試案例：
滬公網安備 31011502008050號