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CV-1500非接觸CV測試系統

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產品特點

CV-1500，用于測試界面和介電層的科研平臺，基于SDIZLCorona-Kelvin技術，可以進行非接觸C-V/I-V測試。

詳細介紹

Capability:

  • Semiconductor Surface Barrier-Vsb 表面勢壘
  • Oxide Total Charge -Qtot 氧化物總電荷
  • Interface Trapped Charge-Qit 界面電荷
  • Interface Trap Density-Dit 界面態密度
  • Di Spectrum:Dit vs. Vsb
  • Dielectric Capacitance -CD and thickness -CET 介電層電容和電學總厚度
  • Dielectric Leakage 介電層漏電

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