EVG晶圓鍵合自動系統 EVG560應用：全自動晶圓鍵合系統（晶圓鍵合機），用于大批量生產。

一、簡介

EVG560自動化晶圓鍵合系統（晶圓鍵合機）可容納四個鍵合室，并具有各種鍵合室配置選項，適用于所有鍵合工藝和大300 mm的晶圓。EVG560鍵合機基于相同的鍵合室設計，并結合了EVG手動鍵合系統的主要功能以及增強的過程控制和自動化功能，可提供高產量的生產鍵合。機器人處理系統會自動加載和卸載處理室。

二、EVG晶圓鍵合自動系統特征

全自動處理，可自動裝卸鍵合卡盤
多達四個鍵合室，用于各種鍵合工藝
與包括SmartView的EVG機械和光學對準器兼容
同時在頂部和底部快速加熱和冷卻
自動加載和卸載鍵合室和冷卻站
遠程在線診斷

三、技術數據

大加熱器尺寸：150、200、300毫米
裝載室使用5軸機器人
（晶圓鍵合機）多的鍵合模塊：4個