用于高度校正的標準樣品
外型尺寸：5*5mm
臺階高：20nm/100nm/500nm
幾何結構：臺階高度有20nm/100nm/500nm（三種規格），1x1mm的正方上每10μm間距有正方形柱子和洞，

500x500μm的正方上每5μm間距有圓形柱子和洞，還有X、Y方向的直線結構。