PCE-66是一款小型紫外臭氧清洗機，可用于清洗各種單晶基片，以保證更好的成膜質量。同時也可去除光刻膠、改善材料表面潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。內置加熱管，可加熱基片，加熱溫度上限150℃，PID方式控溫，可設置30段升降溫程序。·體積小，重量輕
·能除去分子級別的污染物
·可清洗各種基片

產品名稱	PCE-66紫外臭氧清洗機
產品型號	PCE-66
主要參數	1、電源：AC 220V 50HZ 2、功率：750W 3、加熱溫度上限：150℃ 4、照射時間設定：0-30min 5、標配一塊石英樣品臺用于放置基片，避免污染 6、石英樣品臺尺寸：150*150*20mm 7、抽拉盒尺寸：200*230*23mm 8、紫外線燈 · 形態：UV燈管 · 功率：8W*4=32W · 波長：185nm+254nm · 輻照面積：150*150mm · 光照強度：80μW/cm2 9、風機 · 設備背面設有一個排風口，尺寸：φ80mm · 標配一個風機安裝在設備背面的排風口，設備背面的三芯插座為風機的電源插座 · 將鋁波紋管與風機連接，將臭氧排出到實驗室外 · 標配波紋管長度：5米 10、溫控系統 · 包含一款858P型溫度控制器； · PID自動控溫系統； · 智能化30段可編程控制； · 內置過熱保護和熱電偶故障報警； · 控溫精度：±1℃；
	11、產品規格： · 抽屜不打開尺寸：長270mm*寬300mm*高247mm · 抽屜打開尺寸：長270mm*寬540mm*高247mm ·重量：約8.6kg

· UV裝置應由工礦企業、院校等相關專業人員操作或指導使用。
· 嚴禁直接用眼直接看點亮中的UV燈管，否則會引起眼的傷害，非常危險。
· O3臭氧是刺激性臭及強氧化性的氣體，對身體有害。盡量在通風柜或通風環境使用。
· 應避免在高溫、多濕、多塵、腐蝕氣體、酸堿性等的環境中使用。
· 為保護生命，請務必連接接地線，并保證可靠。
· 清掃等作業時必須先將電源切掉。
· 未經許可不可對本裝置進行改造或加工，本公司一概不負對已改造、加工設備的責任。
· 操作時請使用清潔的手套。用手直接接觸UV燈管會在燈管外表留下指紋，使紫外線的透過率降低。燈管上摸上指紋時，請用沾酒精的棉布擦去。（注：燈管屬耗材，不在保修范圍內）
· 如需更換燈管時，必須切斷電源，手拿燈管時應戴好棉手套。（注：需要專業工作人員進行更換）
· 石英照射管隨著時間的推移，內外面會吸附污塵，引起紫外線透過率下降，根據污染情況請定期進行清洗。