精密液體氣相發生器是針對實驗室CVD實驗中導入液體的系統，其液體流量是通過數字液體泵來控制，ZD流量為80ml/min，精確度為0.005ml。液體被蠕動泵導入到混氣系統后，被系統里的加熱裝置加熱成蒸汽，然后隨導入的氣體被帶入到爐管中。本機能夠導出多種液體，如ETOH、SnCl4、 TiCl4R、SiHCl3和Zn（C2H5）2，以及多種有機物混合。對于研究用CVD方法生長納米線和薄膜是JJ的研究設備。精密液體氣相發生器操作視頻1、流體和氣體在一個316不銹鋼罐中加熱。
2、采用30段程序化控溫。
3、氣體流速通過浮子流量計控制。
4、配有壓力表，可測出液氣混合罐中的氣體壓強。
5、配有兩個不銹鋼針閥，以控制氣體進出。
6、可與本司所有管式爐和CVD系統相連接。
7、已通過CE認證。