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半導體分立器件靜態(tài)測試儀

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產(chǎn)品特點

普賽斯半導體分立器件靜態(tài)測試儀配置有多種測量單元模塊,模塊化的設(shè)計測試方法 靈活,方便用戶添加或升級測量模塊,適應(yīng)測量功率器件不斷變化的需求。

詳細介紹

半導體分立器件靜態(tài)測試儀簡介 

普賽斯PMST功率器件靜態(tài)參數(shù)測試系統(tǒng),集多種測量和分析功能一體,可以晶準測量不同封裝類型功率器件(如MOSFET、BJT、IGBT以及SiC、GaN第三代半導體等)的靜態(tài)參數(shù),具有高電壓和大電流特性、μΩ級J確測量、nA級電流測量能力等特點。支持高壓模式下測量功率器件結(jié)電容,如輸入電容、輸出電容  、反向傳輸電容等。

普賽斯PMST功率器件靜態(tài)參數(shù)測試系統(tǒng)配置有多種測量單元模塊,模塊化的設(shè)計測試方法   靈活,方便用戶添加或升級測量模塊,適應(yīng)測量功率器件不斷變化的需求。

靜態(tài)測試系統(tǒng).jpg

系統(tǒng)組成

普賽斯PMST功率器件靜態(tài)參數(shù)測試系統(tǒng),主要包括測試主機、測試線、測試夾具、電腦、上位機軟件,以及相關(guān)通訊、測試配件等構(gòu)成。整套系統(tǒng)采用普賽斯自主開發(fā)的測試主機,內(nèi)置多種規(guī)格電壓、電流、電容測量單元模塊。結(jié)合專用上位機測試軟件,可根據(jù)測試項目需要,設(shè)置不同的電壓、電流等參數(shù),以滿足不同測試需求。測試數(shù)據(jù)可保存與導出,并可生成I-V以及C-V特性曲線。此外,測試主機可與探針臺搭配使用,實現(xiàn)晶圓級芯片測試;也可與高低溫箱、溫控模塊等搭配使用,滿足高低溫測試需求。

測試主機內(nèi)部采用的電壓、電流測量單元,均采用多量程設(shè)計,測試精度為0.1%。其中,柵極-發(fā)射極,Z大支持30V@10A脈沖電流輸出與測試,可測試低至pA級漏電流;集電極-發(fā)射極,Z大支持6000A高速脈沖電流,典型上升時間為15μs,且具備電壓高速同步采樣功能;Z高支持3500V電壓輸出,且自帶漏電流測量功能。電容特性測試,包括輸入電容,輸出電容,以及反向傳輸電容測試,頻率Z高支持1MHz。

 

系統(tǒng)特點

高電壓:支持高達3.5KV高電壓測試(Z大擴展至10kV);
大電流:支持高達6KA大電流測試(多模塊并聯(lián));
高精度:支持uΩ級導通電阻、nA級漏電流測試;
豐富模板:內(nèi)置豐富的測試模板,方便用戶快速配置測試參數(shù);
配置導出:支持一鍵導出參數(shù)配置及一鍵啟動測試功能;
數(shù)據(jù)預(yù)覽及導出:支持圖形界面以及表格展示測試結(jié)果,亦可一鍵導出;
模塊化設(shè)計:內(nèi)部采用模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計,可自由配置,方便維護;
可拓展:支持拓展溫控功能,方便監(jiān)控系統(tǒng)運行溫度;
可定制開發(fā):可根據(jù)用戶測試場景定制化開發(fā);

 

系統(tǒng)參數(shù)

項目

參數(shù)

集電極-發(fā)射極

Z大電壓

3500V

Z大電流

6000A

精度

0.10%

大電壓上升沿

典型值5ms

大電流上升沿

典型值15us

大電流脈寬

50us~500us

漏電流測試量程

1nA~100mA

柵極-發(fā)射極

Z大電壓

300V

Z大電流

1A(直流)/10A(脈沖)

精度

0.05%

Z小電壓分辨率

30uV

Z小電流分辨率

10pA

電容測試

典型精度

0.5%

頻率范圍

10Hz~1MHz

電容值范圍

0.01pF~9.9999F

溫控

范圍

25℃~150℃

精度

±1℃

 

測試項目
集電極-發(fā)射極電壓Vces,集電極-發(fā)射極擊穿電壓V(br)ces、集電極-發(fā)射極飽和電壓Vcesat
集電極截止電流Ices、柵極漏電流Iges
柵極-發(fā)射極電壓Vges、柵極-發(fā)射極閾值電壓Vge(th)
輸入電容、輸出電容、反向傳輸電容
續(xù)流二極管壓降Vf
I-V特性曲線掃描,C-V特性曲線掃描等


半導體分立器件靜態(tài)測試儀測試夾具

針對市面上不同封裝類型的硅基功率半導體,IGBT、SiC、MOS、GaN等產(chǎn)品,普賽斯提供

整套測試夾具解決方案,可用于T0單管,半橋模組等產(chǎn)品的測試。

 測試夾具.jpg



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