QUANTAX EBSD 系統加上廣受歡迎的 OPTIMUS TKD 探測器，是分析 SEM 中納米材料的最 佳解決方案。原因如下：

• 提供 1.5 nm 的最 佳空間分辨率

• 在不影響速度和/或數據質量的情況下以低測試電流進行測試

• 在使用浸入式透鏡模式的超高分辨 SEM 下工作的唯 一 TKD 解決方案

• 全自動內置 ARGUS 成像系統

• 實現最 佳空間分辨率

• SEM 中獲取取向分布圖和物相分布圖

• 用于快速測試，同時不影響數據質量/完整性

• 以令人難以置信的速度，通過全自動信號優化，以出色的對比度和分辨率拍攝 STEM 圖像

• 可使用低電流分析束流敏感材料。