LatticeAx 420晶圓劃片切割機

高度壓痕和切割系統

LatticeAx ? 420 是 LatticeGear 蕞高性能的切割解決方案。 LatticeAx ? 420 在 <5 分鐘內提供 10-μm 的蕞高切割，使其成為重視速度和高度同時需要適應各種樣品尺寸、厚度和材料的實驗室的理想選擇。LatticeAx 底座與完整的視覺包集成在一起，其中包括一個具有 4 微米光學分辨率的單目顯微鏡、彩色 CCD 攝像頭和實時圖像采集和顯示軟件，以及一個 XY 平臺。這款用切割工作站的設計使用戶都可以使用它來測量、對齊、微壓痕、切割和檢查處理過的樣品。

優勢

• 高度定位微線壓痕，在單個工具中實現高質量切割
• 快速樣品處理提高實驗室生產力
• 減少昂貴、高要求的樣品制備工具的瓶頸
• 入門成本低，無服務成本
• 切割各種材料和樣品尺寸
• 使用簡單，符合人體工程學的設計，占地面積小

特征

• LatticeAx 120 基礎工具的所有功能
• 目標的高度定位 (±10 μm)
• LatticeGear 定制：占地面積小，工業平臺
• 帶有粗調和細調焦控制的調焦座
• 帶彩色 CCD 相機的單目、齊焦、變焦鏡頭 (.58-7x mag)*
• 步長為 5 μm 的壓痕位置控制
• 拋光尖金剛石壓頭
• 5 分鐘處理樣品設置
• 用于切割時鐘刻度盤，以進行壓痕校準

*不包括電腦和顯示器