硬度與模量測(cè)試 (Oliver-Pharr模型)

在薄膜的工藝控制和制造過程中，表征其力學(xué)性能至為重要，其中包括汽車行業(yè)的涂層質(zhì)量，以及半導(dǎo)體制造中的前道和后道工藝控制等。

G200X納米壓痕儀可在寬泛材料上測(cè)量硬度和模量，對(duì)從超軟凝膠類樣品到硬質(zhì)涂層等各種材料提供解決方案。更快，更好和更具成本效益的解決方案為生產(chǎn)線提供可靠的品質(zhì)控制及保障。

高速材料力學(xué)性能圖譜功能

對(duì)于包括復(fù)合材料在內(nèi)的許多材料而言，不同區(qū)域之間的力學(xué)性能可能會(huì)有很大差異。 G200X系統(tǒng)能夠在X軸和Y軸方向上各提供 100 毫米的樣品臺(tái)移動(dòng)，并在Z軸方向上提供25毫米的移動(dòng)，在大面積樣本區(qū)域下輕松表征不同厚度，寬度，長(zhǎng)度的樣本。可升級(jí)選件NanoBlitz 力學(xué)形貌圖譜和斷層譜圖 軟件能夠快速輸出力學(xué)性能的彩色分布圖。

ISO 14577 硬度測(cè)試

Nano Indenter G200X 包括預(yù)先內(nèi)置的ISO 14577測(cè)試方法，可根據(jù)ISO 14577 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量材料硬度。該測(cè)試方法可以自動(dòng)測(cè)量并輸出楊氏模量、儀表硬度、維氏硬度和歸一化壓痕功。

界面附著力測(cè)試

膜層材料的界面粘附性的測(cè)量對(duì)于幫助用戶了解薄膜的失效模式至關(guān)重要。內(nèi)應(yīng)力的存在常常會(huì)導(dǎo)致鍍層樣品的薄膜分層現(xiàn)象，Nano Indenter G200X系統(tǒng)可以通過膜層界面的斷裂及黏附特性和殘余應(yīng)力等性能的測(cè)試，實(shí)現(xiàn)對(duì)多層界面的性能評(píng)估。

斷裂韌性測(cè)試

斷裂韌性反映了結(jié)構(gòu)阻止宏觀裂紋失穩(wěn)擴(kuò)展能力，是結(jié)構(gòu)抵抗裂紋脆性擴(kuò)展的參數(shù)。低斷裂韌性值意味著樣品存在的缺陷。G200X特有的剛度成像功能可以輕松地對(duì)材料的斷裂韌性進(jìn)行評(píng)估。（剛度分布測(cè)量需要連續(xù)剛度測(cè)量和NanoVision選件）

粘彈材性測(cè)試

聚合物是結(jié)構(gòu)異常復(fù)雜的材料，力學(xué)性能易受其化學(xué)特性、加工工藝和熱力學(xué)歷史的影響。力學(xué)性能取決于母鏈的類型和長(zhǎng)度、支化、交聯(lián)、應(yīng)變、溫度和頻率等，而這些因素通常是相互關(guān)聯(lián)的。G200X可在特定測(cè)試環(huán)境中對(duì)相關(guān)聚合物樣本進(jìn)行力學(xué)測(cè)試，為聚合物高分子材料設(shè)計(jì)參數(shù)決策提供了有價(jià)值的數(shù)據(jù)信息。/p>

納米壓痕測(cè)試所需樣本尺寸小，樣本制備要求簡(jiǎn)單，可高效簡(jiǎn)化這種特定環(huán)境的測(cè)量。Nano Indenter G200X 系統(tǒng)還可以通過與材料充分接觸的同時(shí)激發(fā)高頻振動(dòng)來(lái)測(cè)量聚合物樣品的復(fù)合模量和粘彈性。

掃描探針顯微成像 (3D 成像)

Nano Indenter G200X 系統(tǒng)提供兩種掃描探針顯微成像方式，用戶可利用三維成像來(lái)表征斷裂韌性研究中產(chǎn)生的裂紋長(zhǎng)度等。 Nano Indenter G200X 與NanoVision選件結(jié)合，可提供高達(dá)1nm步進(jìn)的橫向分辨率的高精度PZT樣品臺(tái)，實(shí)現(xiàn)高精度定位，100μm x 100μm的最 大橫向掃描范圍。Nano Indenter G200X測(cè)試平臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)的高精度X/Y 納米馬達(dá)臺(tái)與Inview 軟件及掃描測(cè)量選件結(jié)合，可提供500μm x 500μm的最 大橫向掃描范圍。

定量劃痕和磨損測(cè)試

G200X 系統(tǒng)可以對(duì)多種材料進(jìn)行劃痕和磨損測(cè)試。在涂層和薄膜經(jīng)過化學(xué)機(jī)械拋光 (CMP) 和引線鍵合等的多種工藝處理的時(shí)候，其強(qiáng)度及其對(duì)基材的附著力會(huì)備受考驗(yàn)。在加工工藝中，材料是否能抵抗塑性變形并保持完整而不從襯底上起泡非常重要。理想情況下，介電材料具有高硬度和高彈性模量，因?yàn)檫@些參數(shù)有助于了解材料在制造工藝中的性能變化。