產品簡介

UNIXX He45型熱板是一款立式半自動烘焙系統，用于晶圓的單面烘烤，可用于預烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底膠涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake堅膜)工藝。 

產品特色

÷ 溫度高達 300°C

÷ 電子驅動升降pin

÷ 支撐pin材料為不銹鋼，采用 PEEK 材料 (最大250°C)

÷ 程序控制支撐pin的升降（不同停止的速度和步數）

÷ 熱板通過真空固定晶圓

÷ 熱板蓋手動控制

÷ 集成排煙裝置

÷ 通過設置receip自動進行加熱處理

主要技術數據

÷ 襯底尺寸: 最大可達 ?200 mm (? 8”) 或 200 x 200 mm (8 x 8 inch)

÷ 溫度: 最大可達 300°C, 步進1°C

÷ 溫度精度: < ±1°C@100°C 

÷ 支撐pin: ?50 mm (?2”) ,最大可達 ?200 mm(?8”) 或 200 x 200mm (8 x 8 inch)

÷ 熱板材質: 硬質陽極氧化鋁

÷ 加熱蓋材質: 不銹鋼

可選項

÷ 支撐pin材料

÷ 邊緣支撐pin

÷ N2吹掃

÷ HMDS 熱板系統（六甲基二硅胺底膠蒸汽涂覆）

÷ 600℃熱板

÷ 真空泵