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連續化學樣品檢測實驗室CSI-Lab

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產品特點

化學分析實驗室采用連續化學采樣檢測系統(CSI)監測半導體工藝中的化學品,以檢測微量金屬雜質。該系統使用電感耦合等離子體質譜儀(ICP-MS)進行24/7的連續監測,確保化學品在運輸和更換過濾器過程中

詳細介紹

連續化學品樣品檢測實驗室 CSI_Lab 

化學分析實驗室在實驗室中監測半導體工藝中的化學物質

連續化學采樣檢測CSI是一個用于監測半導體行業中使用的化學品中微量金屬雜質的系統。


在半導體器件制造中,許多不同類型的化學物質被用于不同的目的,而化學物質中的金屬雜質會導致器件故障。

由于單片晶圓加工越來越普及,清洗和蝕刻過程中的交叉污染風險越來越小。相反,散裝化學品的污染會造成巨大的生產損失。散裝化學品的污染可能發生在將化學品從卡車或罐轉移到儲罐的過程中,或者在更換過濾器之后。


為避免化學品中的任何污染風險,化學源檢測公司CSI已使用一臺電感耦合等離子體質譜儀(ICP-MS)對不同儲罐中的金屬雜質進行 24/7 的連續監測。當有卡車到來時,會立即對卡車上的樣本進行分析,緊接著對當前樣本進行分析。

在線接口軟件(OIS) - OIS 是一款智能軟件,用于控制每個閥、自動進樣器和電感耦合等離子體質譜儀(ICP-MS)。ICP-MS 用作檢測器,包括校準曲線在內的所有信息均由 OIS 管理。

OIS 具有以下功能

通過簡化的標準加入法進行自動校準和重新校準。

- 檢查校準曲線的相關系數、最小靈敏度、標準偏差(SD)和相對標準偏差(RSD),以及如果結果超出限值時的自動重新分析功能。

定期檢查質量控制標準(QC)。

- 兩個濃度上限,以及警報和輸出信號的產生。

在當前樣本之后插入卡車或罐式樣本。

- 針對每種化學物質更改電感耦合等離子體質譜法(取決于電感耦合等離子體質譜儀型號)。

每個樣本的濃度和計數的趨勢圖。

- 離線樣本分析

- 與遠程接口的通信(可選)

以下是通過 LT 模型分析的各種化學品的標準添加校準曲線。所有化學品均依次進行分析。




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