此魚骨形混合器玻璃芯片基于Stroock[1]和Kwak[2] 提出 的交錯(cuò)人字形微混合器結(jié)加工而成。 

魚骨形混合器玻璃芯片采用濕法刻蝕和激光技工技術(shù)加 工而成。 首先，利用CAD軟件繪制魚骨形通道結(jié)構(gòu)圖，芯片主通 道寬度200μm，深度80μm，每組有10個(gè)魚骨形結(jié)構(gòu)，每 個(gè)循環(huán)有2組魚骨結(jié)構(gòu)，共有15個(gè)循環(huán)單元。 魚骨高度40μm，魚骨寬度40μm，魚骨間距100μm。魚 骨位于通道的上面，呈現(xiàn)凸起結(jié)構(gòu)。 其次，采用HF酸濕法刻蝕B270玻璃，形成所需要的通道 結(jié)構(gòu)和魚骨結(jié)構(gòu)。 隨后，將上片刻蝕通道的玻璃與下片具有魚骨結(jié)構(gòu)的玻 璃分別用清洗試劑和二次去離子水反復(fù)清洗，直至非常 潔凈的程度，隨后用潔凈風(fēng)吹干后合上，采用真空熱壓 技術(shù)，將上片和下片鍵合在一起，然后利用激光切割成 單個(gè)魚骨形混合器玻璃芯片。

魚骨形混合器玻璃芯片的 結(jié)構(gòu)圖如下所示： 

[1] A. D. Stroock, S. K. W. Dertinger, A. Ajdari, I. Mezic, H. A. Stone, and G. M. Whitesides, et al, Chaotic Mixer for Microchannels, Science 295, 647 2002.