Sensofar平面度測量白光干涉儀 S neox 0.65X，以優秀的橫向和縱向分辨率測量平面度。S neox搭配0.65X物鏡，具有最大視野的物鏡和最高精度的載物臺，在平面度、平行度和臺階高度測量方面提供了最佳的表現。