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Nanoscribe Photonic Professional GT2雙光子無掩模光刻系統

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產品特點

雙光子聚合技術所具有的高設計自由度,可以在各種預先構圖的基板上實現波導和混合折射衍射光學器件等3D微納加工制作。結合Nanoscribe公司的高精度定位系統,可以按設計需要精確地集成復雜的微納結構。

詳細介紹

產品介紹:

3D微納加工技術應用于集成光子學領域

雙光子聚合技術所具有的高設計自由度,可以在各種預先構圖的基板上實現波導和混合折射衍射光學器件等3D微納加工制作。結合Nanoscribe公司的高精度定位系統,可以按設計需要精確地集成復雜的微納結構。


預構圖復雜光學結構的微納加工應用

光學和光電組件的小型化對于實現數據通信和電信以及傳感和成像的應用至關重要。通過傳統的微納3D打印來制作自由曲面透鏡等其他新穎設計會有分辨率不足和光學質量表面不達標的缺陷,但是利用雙光子聚合原理則可以完 美解決這些問題。該技術不僅可以用于在平面基板上打印微納米部件,還可以直接在預先設計的圖案和拓撲上精確地直接打印復雜結構,包括光子集成電路,光纖尖 端和預制晶片等。這種方法可以在各種材料(例如InP,SOI和Si3N4)上進行高精度的原位3D微納加工,從而實現光學接口的小型化和無組裝制造。


例如,可以應用于將自由曲面微納光學組件直接打印到芯片上,從而連接多根光纖到一個芯片上。為了達到這個目的,必須將光收集起來,平行于芯片表面重新定向然后傳輸到窄波導中。而Nanoscribe公司基于雙光子聚合原理的無掩模光刻系統擁有高設計自由度的特點,可以夠輕松實現收集光束并傳輸到波導中。系統配備的高分辨率處理鏡頭和打印系統的編程接口可以實現耦合結構與波導的自動對準,且對準精度可達到100 nm。

Nanoscribe的Photonic Professional GT2雙光子無掩模光刻系統可適用于科研和工業領域應用。我們的客戶成功將微納光學結構直接打印到光子組件上從而實現從邊緣到表面的全面耦合。而全新的雙光子灰度光刻系統Quantum X則可以應用于光子封裝技術。更多應用相關科研項目請點擊MiLiQuant 和 HandheldOCT.


3D微納加工創新科技

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集成光子學領域應用

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