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MicroChem 電子束光刻膠 PMMA

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PMMA（聚甲基丙烯酸甲酯）是一種通用的聚合材料，適用于許多成像和非成像微電子系統。PMMA光刻膠是將PMMA聚合物溶解在諸如苯甲醚之類的安全溶劑中，曝光會導致聚合物鏈斷裂。PMMAZ常用作直寫式電子束的高分辨率正性光刻膠，它具有極高的分辨率，易于處理和出色的薄膜特性。PMMA還可用作晶圓薄化的保護涂層，粘結粘合劑和刻蝕層。

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