技術參數：

·光譜范圍：190-2100 nm

·8種光斑尺寸: 小35 X 85 um

·探測器：3個獨立探測器，分別優化紫外，可見和近紅外

·自動樣品臺尺寸：200mm X 200mm；XYZ方向自動調節; Z軸高度>35mm

·樣品水平度自動調整

·自動量角器：變角范圍35°- 90°，全自動調整，小步長0.01°

主要特點：

·完全自動化設計，自動對焦、校正

·全新光路、電路設計，測量精度更高，速度更快

·50KHz高頻PEM相調制技術，測量光路中無運動部件

·雙光柵光譜儀系統，雜散光YZ水平高

·8個尺寸微光斑，可視技術

·自動平臺樣品掃描成像