1.電阻

10^-5～2×10^5Ω

10^-6～2×10^5Ω

2.方塊電阻 

10^-5～2×10^5Ω/□

10^-6～2×10^5Ω/□

3.電阻率 

10^-6～2×10^6Ω-cm

10-7～2×106Ω-cm

4.測(cè)試電流 

0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA，

10mA，100mA

1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA

5.電流精度 

±0.1%

6.電阻精度 

≤0.3%

7.PC軟件操作

PC軟件界面：電阻、電阻率、電導(dǎo)率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、壓力、

報(bào)表生成等

8.壓力范圍：

探針壓力可調(diào)范圍：軟件控制,100-500g可調(diào)

9.探針

針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機(jī)械游移率：≤0.3%

圓頭銅鍍金材質(zhì)，探針間距1mm；2mm；3mm選配，其他規(guī)格可定制

10.可測(cè)晶片

尺寸選購(gòu)

晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）；

方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm

11.分析模式

單點(diǎn)、五點(diǎn)、九點(diǎn)、多點(diǎn)、直徑掃描、面掃描等模式的自動(dòng)測(cè)試

12.加壓方式

測(cè)量重復(fù)性：重復(fù)性≤3% 

13.安全防護(hù)

具有限位量程和壓力保護(hù);誤操作和急停防護(hù);異常警報(bào)

14.測(cè)試環(huán)境

真空

15.電源

輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<100W 

16.選購(gòu)項(xiàng)目

電腦和打印機(jī)