【設備更新儀器推薦】橢圓偏振光譜儀——UVISEL PLUS
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產品名稱：橢圓偏振光譜儀
產地：法國
型號：UVISEL PLUS
典型用戶：NASA 戈達德太空飛行中心
薄膜厚度、光學常數表征 材料/ 表面改性研究 粗糙度、孔隙率表征 漸變層、界面層等分析 穿過率、反射率曲線測量
汽車
薄膜厚度、光學常數表征 表面粗糙度、孔隙率表征 漸變層、界面層分析 透射率、反射率測量 涂層及鍍層分析
硅片上SiO? 薄膜厚度監控 光刻膠n，k（190-2100nm） SiN，SiO? 等膜厚測試 第三代半導體外延薄膜厚度
薄膜厚度、光學常數表征
工藝對鍍膜的影響分析
漸變層、界面層等分析
膜層不均勻性成像分析
在線監測
具備超薄膜所需的測量精度、超厚膜所需的高光譜分辨率
多個實用微光斑尺寸選項
可用于在線實時監測
自動平臺樣品掃描成像、變溫臺、電化學反應池、液體池、密封池等
配置靈活，測量范圍可擴展至 190 nm~2100 nm
小小的薄膜居然在太空望遠鏡上這么重要？| 前沿應用 一鍵操作，全自動分析——顯示面板多維度薄膜分析 | 前沿應用 多維度半導體薄膜材料分析——橢圓偏振光譜表征方案 | 光譜技術頭條
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