Attolight作為金牌贊助商和展商參加CLEBIC 2025

Attolight作為金牌贊助商將于2025年4月9日至11日參加在英國斯克萊德大學(xué)舉辦的第三屆半導(dǎo)體陰極發(fā)光與電子束誘導(dǎo)電流研討會（CLEBIC）。

作為陰極發(fā)光（CL）技術(shù)的先驅(qū)，Attolight致力于推動納米級半導(dǎo)體表征技術(shù)的發(fā)展。在CLEBIC，Attolight將展示最新的Allalin平臺，這是一款專為工業(yè)和科研應(yīng)用設(shè)計的最先進的陰極發(fā)光掃描電子顯微鏡（CL-SEM）系統(tǒng)，同時還將展示M?nch系統(tǒng)，這是為STEM設(shè)計的用于光收集和光注入系統(tǒng)。在展會現(xiàn)場還將為大家展示Attolight解決方案如何實現(xiàn)半導(dǎo)體、光電子以及量子材料的高精度材料分析。

歡迎蒞臨Attolight展位，一同探索獨具創(chuàng)新性的CL技術(shù)，探討行業(yè)動態(tài)，并了解Attolight如何助力您實現(xiàn)研發(fā)目標(biāo)。

Attolight在半導(dǎo)體及光電子學(xué)方面的應(yīng)用

快速定量陰極發(fā)光系統(tǒng)Allalin、STEM光注入和收集系統(tǒng)M?nch

由于金剛石具有諸如極高的硬度、化學(xué)惰性、光學(xué)透明度、出色的熱導(dǎo)率以及良好的電絕緣性等非凡特性，因此越來越多的應(yīng)用領(lǐng)域認(rèn)識到這種材料所帶來的益處。特別是在涉及極高功率密度、高機械負(fù)載或惡劣磨損條件的應(yīng)用中，金剛石往往是滿足苛刻要求的唯一材料。金剛石已在高功率電子器件、量子信息、微機電系統(tǒng)和生物微機電系統(tǒng)、光學(xué)、熱學(xué)和機械應(yīng)用、電化學(xué)應(yīng)用、輻射傳感器等領(lǐng)域得到應(yīng)用。由于其優(yōu)異的性能，金剛石半導(dǎo)體也被譽為“終極半導(dǎo)體材料”。

陰極發(fā)光（CL）是半導(dǎo)體物理學(xué)研究中所采用的關(guān)鍵技術(shù)之一，其應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋了從半導(dǎo)體缺陷分布的分析到此類材料電學(xué)特性的表征等方面。Attolight CL-SEM系統(tǒng)Allalin能夠全面表征Delta結(jié)構(gòu)、完整研究載流子動力學(xué)以及在深紫外光和低溫條件下進行摻雜劑的引入研究。這些特性使得Attolight CL-SEM系統(tǒng)成為金剛石半導(dǎo)體研究中的重要工具。

在金剛石聚焦離子束薄片中進行的CL映射和SE圖像顯示，在CL映射圖中可以看到摻雜和未摻雜金剛石之間的過渡情況。

鹵化物鈣鈦礦已成為下一代光電器件（如太陽能電池和發(fā)光二極管）的理想候選材料。鈣鈦礦薄膜在微觀和納米尺度上的結(jié)構(gòu)和性質(zhì)是不均勻的，對納米尺度的理解對于這些新型材料的開發(fā)和改進至關(guān)重要。陰極發(fā)光掃描顯微鏡（CL-SEM）能夠以高空間分辨率探測材料的性質(zhì)。然而，這些軟半導(dǎo)體對電子束損傷非常敏感，這極大地阻礙了陰極發(fā)光技術(shù)（CL）的應(yīng)用。

隨著束流強度降低而生成的空間分辨率CL圖像，顯示出更穩(wěn)定的發(fā)射信號。CW：連續(xù)波，PM：脈沖模式電子束采集。

脈沖模式掃描電子顯微鏡陰極發(fā)光（PM SEM-CL）技術(shù)的應(yīng)用被發(fā)現(xiàn)有助于混合型鈣鈦礦薄膜的研究。這些發(fā)現(xiàn)得益于Attolight公司的Allalin設(shè)備。

脈沖束的應(yīng)用能夠獲取由于電子束低劑量脈沖特性而產(chǎn)生的CL超光譜圖，在納米尺度上對混合鈣鈦礦薄膜的發(fā)射特性異質(zhì)性進行成像。這些優(yōu)化后的參數(shù)還使得能夠獲取多晶薄膜的時域光致發(fā)光數(shù)據(jù)，結(jié)果顯示其電荷載流子動力學(xué)的壽命明顯短于光致發(fā)光模擬數(shù)據(jù)所顯示的壽命，這表明電子束樣品相互作用是由束損傷引起的。

這些發(fā)現(xiàn)在對光束敏感度更高的混合鈣鈦礦材料上應(yīng)用CL傅里葉變換光譜成像和時間分辨陰極發(fā)光（TRCL）提供了極具前景的一步。此外，預(yù)計在低劑量條件下進行陰極發(fā)光（CL）實驗將在解析光束敏感型半導(dǎo)體的復(fù)雜納米級結(jié)構(gòu)方面發(fā)揮重要作用。

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