2023年6月29日-7月1日 

Semicon China 2023 上海新國際博覽中心，展位號E2139 

濱松中國，期待與您相見

自1988年S次在上海舉辦以來，SEMICON China已成為中國S要的半導體行業盛事之一。在本次展會中，濱松以倒金字塔產業鏈概念，立體地展示濱松在半導體行業，從元器件、模塊、系統到大型設備的典型產品，圍繞半導體量測、半導體檢測、涂膠顯影、靜電去除、SEM、測光、GaN/Perovskite材料的IQE直接測量、GaN晶圓檢等具體應用展開介紹。

寶藏光源LDLS

在半導體量測應用中，濱松再一次為大家帶來了一款寶藏光源激光驅動白光光源（Laser Driven Light Source），簡稱LDLS。這是一款利用高能聚焦激光束來驅動氙等離子體的超高亮寬光譜光源。該系列產品不僅可以在170 nm至2100 nm的光譜范圍內提供超高發光亮度，比如在DUV的亮度就是傳統光源如氙燈的10倍以上，而且整個光源的發光壽命相比較于傳統光源也高出了整整一個數量級（>10000 h）。

圖1 EQ-99X-FC-S以及選型指南

受到眾多客戶肯定的微型光譜儀系列產品C9405CC、C10082CA、C11118GA也以實物的形式在此次展會中與大家見面。這三款多波段UV-NIR 微型光譜儀，緊湊型結構設計，非常適用于膜厚測量等量測應用。

圖2 從左到右依次：C9405CC、C10082CA、C11118GA

除此之外，濱松還會為大家準備了波長軸和光譜靈敏度特性已經校準的PMA-12光譜儀C10027-01，用于X-ray的光學元件毛細管透鏡J12818-01等眾多產品。

開創新紀元，光子定量qCMOS相機

在半導體檢測應用中，首先為大家推薦的就是擁有開創性概念和前所未有性能的光子定量相機-ORCA-Quest qCMOS相機C15550-20UP。

圖3 濱松ORCA-Quest qCMOS相機

該產品實現了“魚與熊掌兼得”，同時保證了高幀速、高分辨率以及高信噪比，并且讀出噪聲下降到0.27個電子，終于實現了“光子定量”（Photon number resolving）。

TDI 相機

采用時間延遲積分技術，有效提高圖像信噪比，背照式結構，具備高量子效率，在紫外波段QE高達70%（-801）的TDI 相機C10000-801。

sCMOS相機

sCMOS相機C15440-20UP具有低讀出噪聲0.7e- rms；高量子效率，95% @550nm、高幀頻讀出，89.1fps以及2304*2304 分辨率。

sCMOS相機C11440-42U40具有高量子效率82%；低讀出噪聲1.5e- rms以及USB3.0 數據接口40 fps。

圖4 從左到右依次：C10000-801、C15440-20UP、C11440-42U40

當然，在半導體檢測應用中探測器也是不可或缺的存在，濱松也為大家準備了CCD\CMOS面陣\線陣圖像傳感器，PMT探測器等產品。

免費樣機預約ODPL

首 個無接觸無損評價半導體材料晶體質量的方法，通過積分球法測量半導體材料、鈣鈦礦材料的內量子效率。該產品可以直接測量材料 IQE，具有制冷型背照式 CCD 高靈敏度以及高信噪比，支持 mapping 功能。

圖5 ODPL測量方法示意圖

失效分析-高分辨率微光顯微鏡

PHEMOS-X 微光顯微鏡C15765-01采用的是國際上Z 先進的相機傳感器制造封裝技術以及超精密激光掃描技術，實現對高端制程芯片的快速失效點定位。

圖6 微光顯微鏡C15765-01

PHEMOS-X微光顯微鏡搭配的是1.35倍高靈敏度大視野FOV紅外鏡頭，它可以同時滿足Emmi分析和OBIRCH分析兩種功能使用；增加了激光掃描光源的種類，實現對SiC，GaN等第三代半導體材料制成芯片的精確失效定位。

濱松中國上海半導體實驗室已于今年6月份正式投入使用，該款產品已經開放給客戶參觀測試。

MiNY PL Micro LED PL 檢查系統

MiNY PL C15740-01是一款采用光致發光檢測方法，巨量、快速檢測Micro LED晶圓的設備。該產品具有出色的檢測穩定性，可以檢測出AOI設備無法辨別的發光異常缺陷和波長異常缺陷，可以實現EL設備無法實現的100% 全檢。

圖7 測量原理

以上是此次濱松中國在semicon展出的部分展品，更多精彩內容歡迎來到展臺現場與工程師一對一交流。