1993年，日本首臺封閉管MFX誕生（濱松搞的

2025-01-06 18:15:14 70閱讀次數

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步入20世紀90年代，X射線檢測系統如雨后春筍般在全球各地涌現，其核心——X射線源，也悄然成為眾人矚目的焦點。

盡管濱松光子在軟X射線管技術上有所積累，但面對高壓微焦點X射線管（MFX）這個全新的挑戰，濱松就像個新手小白，既興奮又緊張。面對這一挑戰，整個條紋管制造流程的員工被緊急召集，共同投入到這場研發戰役中。他們首先深入研究了競爭對手的產品，盡管在電子軌跡設計方面還是個門外漢，但他們憑借著堅韌不拔的精神，逐步克服了模擬上的困難。

1993年，經過無數個日夜的奮戰，濱松光子終于成功研發出日本首臺封閉型MFX——L5486。然而，由于規格上的不足，這款產品并未在市場上引起太大的波瀾。但濱松并未氣餒，他們根據客戶反饋，不斷對產品進行改進。還記得那時候，經理鈴木賢次提議給MFX穿上醒目的紅色外套，就像濱松人對創新的執著追求一樣，熱情如火，永不熄滅。

圖1 70kV 封閉管MFX L5486

為了在市場上站穩腳跟，濱松光子決定自研出更高電壓的X射線源。1996年，他們成功推出了80千伏X射線源L6731，并創新性地內置了微計算機，實現了自動預熱功能。這一創新之舉，讓濱松的產品在市場上逐漸獲得了認可。

圖2 80kV 封閉管 MFX L6731

隨著市場競爭的加劇，濱松光子始終保持著以客戶為中心的思想。當一位客戶提出需要一款新的130千伏X射線源用于電路板檢測時，濱松的研發團隊就像接到了“超級任務”，再次迎難而上。他們深知，這款產品的成功，不僅關乎公司的未來發展，更關乎客戶對于高質量檢測的需求。因此，他們對整個配置進行了全面審查，包括管體、電源和控制板，最終成功研發出了L9181，這款產品的設計和功能至今仍是封閉型MFX的標桿。

圖3 130kV 封閉管 MFX L9181

除了滿足客戶的定制化需求，濱松光子還不斷追求技術的突破。他們致力于減小MFX的焦點尺寸，以提高檢測精度。1997年，他們實現了世界上最小的5微米焦點尺寸；2000年，他們開發出了開放型MFXL8321，最小分辨率降低至0.5微米。

圖4 160kV 開放管 MFX L8321-01

當濱松光子初次涉足MFX領域時，他們的主要目標是電路板檢測。然而，隨著時間的推移，這些MFX產品逐漸展現出了更廣泛的應用潛力，不再局限于電路板，而是開始挑戰更厚重的檢測對象，如鋁合金壓鑄件和IGBT（絕緣柵雙極型晶體管）內部的空洞。這些新的應用場景對MFX提出了更高的要求，需要它們具備長時間在線檢測的穩定性和可靠性。

為了滿足這些需求，濱松光子決定對現有的L8121-03型號進行升級。這款MFX產品原本就擁有150 kV的管電壓，經過一系列改進，包括提升耐壓性能、設計新型高壓電源以及調整控制單元的輸入電壓，濱松光子在2011年8月成功推出了L12161-07型號。這款升級版的MFX產品迅速在鋁合金壓鑄件檢測和IGBT空洞檢測等領域獲得了廣泛應用。

圖5 150kV 封閉管 MFX L12161-07

不僅如此，L12161-07在問世十多年后，仍然保持著強大的生命力。隨著鋰離子電池市場的蓬勃發展，這款MFX產品也開始被用于鋰離子電池的檢測。150kV的管電壓使得L12161-07在鋰離子電池檢測領域表現出色，至今仍受到許多客戶的青睞。

后續濱松繼續推出更高性能的MFX產品。L14351封閉型MFX和L12721開放型MFX分別實現了180 kV和300 kV的最大管電壓，為更大尺寸的檢測對象提供了可能。

圖6 180 kV MFX L14351-02

鑒于濱松光子在MFX研發上的那股子“拼命”勁兒，MFX產品終于在2002年第十五屆《中日新聞》產業技術獎中大放異彩，一舉奪得《中日新聞》獎，這可是日本中部工業界的“奧斯卡”！而到了2010年，L10711開放型MFX更是憑借那0.25微米的最小分辨率，成功拿下國際光學與光電子學會（SPIE）的棱鏡獎（Prism Award），簡直是給“細節控”們送上了一枚大大的勛章。