精彩回顧｜SEMICON CHINA 2021 WM收官，期待與您明年再相見！
一年一度的 SEMICON CHINA 半導體展于 2021 年 3 月 17 - 19 日在上海新國際博覽ZX如期舉行。飛納電鏡與賽默飛協同合作，亮相 SEMICON 2021，共同拓展半導體市場。
展出產品：Phenom XL G2 大樣品室ZY版
Phenom XL G2
●智能光學導航界面，快速JZ樣品定位
●超大樣品倉，一次性可放置多達 36 個半英寸樣品臺
●電鏡能譜使用同一操作界面，能譜分析如同拍照一樣簡單
掃描電鏡在半導體應用解決方案
01
光刻膠圖形缺陷檢測：光刻膠蝕刻不完全或者蝕刻有缺陷，會影響整個線路的導電性，因此要對蝕刻后的光刻膠圖形進行缺陷檢測。
圖1 有缺陷的光刻膠掃描電鏡圖
圖2 合格的光刻膠掃描電鏡圖
02
Bonding 熱壓工藝的缺陷檢查：Bonding 熱壓工藝分為平焊和球焊（BGA），球焊點和平焊點如果有剝離、裂紋等缺陷，會直接影響元器件的使用，因此通常使用 SEM 進行 Bonding 缺陷檢查。
由于 Bonding 缺陷需要多角度觀察，因此通常使用優ZX樣品杯，通過多角度自由傾斜旋轉，來進行不同角度觀察。
圖3 優ZX樣品杯（ZD旋轉角度可達 90°）
圖4 多角度檢查焊接情況
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