邀請函:KRüSS誠邀您參加Productronica慕尼黑上海電子生產(chǎn)設(shè)備展
展會信息
慕尼黑上海電子生產(chǎn)設(shè)備展
展會時間:2025.3.26 - 28
展位號:W1-1702
解決方案
接觸角測量可對晶圓進(jìn)行非破壞性測試,檢測晶圓表面的清潔度和監(jiān)控質(zhì)量的均勻性。即使表面結(jié)構(gòu)發(fā)生了微小的變化,接觸角也會靈敏的反映出來。
KRüSS的DSA100W液滴形狀分析儀在定義的測量位置(“繪圖”)基礎(chǔ)上,進(jìn)行一系列全自動測量。不同位置接觸角的測量結(jié)果可反映樣品的均一性或不同區(qū)域之間的差異。
晶圓表面和光刻膠之間的接觸特性尤為重要,尤其是旋涂光刻膠的工藝過程,潤濕性影響了光刻膠在晶圓上的分布。
浸沒式光刻過程中,光刻膠表面和水的潤濕性也尤為關(guān)鍵。曝光時水在晶圓表面形成動力學(xué)接觸角,前進(jìn)角和后退角的控制對曝光質(zhì)量也會產(chǎn)生很重要的影響。
KRüSS的DSA系列液滴形狀分析儀可以系統(tǒng)的分析光刻膠在晶圓表面的靜態(tài)接觸角,或者使用傾斜臺的方法,測試水在光刻膠表面的動態(tài)接觸角。
濕電子化學(xué)品的質(zhì)量監(jiān)控
表面張力決定了濕電子化學(xué)品在固體表面的鋪展能力,較低的表面張力使液體能夠更好地潤濕固體表面,實現(xiàn)均勻覆蓋。而接觸角越小,說明液體在固體表面的潤濕性越好,直觀地了解濕電子化學(xué)品與固體表面的親和程度。
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