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康寧G1碳化硅陶瓷反應器
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耐化學腐蝕性能,適用于連續工藝開發和規模生產
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一、減少加工工作量,降低加工成本;
二、減少晶體加工開裂、提高成品率;
三、加工過程更加靈活簡便;
四、設備采購價格較低,減少了項目啟動投入成本;
五、支持大直徑晶體工藝路線,提高晶體質量。
總之,碳化硅晶體采用掏棒方式加工晶體外圓,可使外圓加工工序變的簡單,縮短了加工時間、減少了晶體開裂的概率、降低了加工成本,同時節省了企業項目初期的設備投入成本。因此,碳化硅晶體的掏棒工藝將為越來越多的碳化硅晶體生產企業所采用,并使企業從中受益。[詳細]
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