本文由 復納科學儀器（上海）有限公司 整理匯編

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• 淺談飛納電鏡能譜一體機在半導體封裝引線鍵合工藝中的應用

  淺談飛納電鏡能譜一體機在半導體封裝引線鍵合工藝中的應用隨著移動電子產品越來越精細，芯片封裝要求也越來越高，這也迫使工廠在做檢測時需要用放大倍數更大，景深更好的設備來控制生產中的工藝，傳統光鏡的放大倍數已經無法滿足當前半導體封裝尺寸越來越小的要求。飛納臺式掃描電鏡以高亮度，高分辨率，高放大倍數的“三高”特點成為半導體封裝行業的得力助手。引線鍵合工藝簡介引線鍵合（WireBonding）是一種使用細金屬線，利用熱、壓力、超聲波能量使金屬引線與基板焊盤緊密焊合，實現芯片與基板間電氣互連和芯片間信息互通的一種工藝。在理想控制條件下，引線和基板間會發生電子共享或原子的相互擴散，從而使兩種金屬間實現原子量級上的鍵合。通常使用的細金屬線為高純度的金線（Au）、銅線（Cu）或鋁線（Al）。更通俗的講就是將Pad和引線通過焊接的方法連接起來。Pad是芯片上電路的外接點。封裝工藝中，引線焊接也被認為是Z關鍵的工藝，焊接的好壞也決定了芯片導通的情況，通常焊接完畢后需要做例如金線推拉力、金線弧高、金球厚度、彈坑測試和IMC測試等等，其中金線焊接點的觀察和表面臟污觀察在改善制程控制品質方面尤其重要。這就催生出需要放大倍率足夠大，景深足夠好且能夠定性測量元素的儀器電鏡能譜一體機圖1.FOL-WireBonding引線焊接流程圖飛納電鏡能譜一體機在WiredBonding工藝中的應用飛納電鏡能譜一體機Zda可以放大130,000倍，分辨率可以達到10nm以下，以及具有光學顯微鏡無法比擬的超高景深以及配套的能譜，能譜可以進行元素定性半定量。飛納電鏡能譜一體機在半導體封裝引線鍵合工藝中的主要應用為：可以觀察金線焊接情況，并可以通過能譜面掃或者區域掃來確認焊接區域或者其他區域是否有其他雜質，從而達到引線鍵合工藝和其他前段工藝的制程管控目的。同時飛納電鏡能譜一體機對工作環境無特殊要求，使用的簡便和六硼化鈰燈絲的穩定性，也滿足了工廠GX率的要求。總結，飛納電鏡能譜一體機是半導體封裝工廠引線鍵合工藝品質量管控和制程改善非常GX率的參考工具之一。圖2Phenom看金線形貌圖3Phenom看魚尾紋形貌[詳細]

  2018-08-22 10:00

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• 飛納電鏡在粉末冶金領域的應用

  以金屬粉末（或金屬粉末與非金屬粉末的混合物）為原料，通過成形、燒結制成金屬制品或材料的一種冶金工藝技術。 [詳細]

  2020-06-30 13:13

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• 飛納電鏡在制藥領域的應用

  飛納電鏡在制藥領域的應用[詳細]

  2024-09-18 02:57

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• 飛納臺式掃描電鏡能譜一體機Phenom ProX

  飛納臺式掃描電鏡 (Desktop SEM) Phenom ProX 是的電鏡能譜一體機，集掃描電鏡成像與能譜元素分析為一體。使用 Phenom ProX 電鏡能譜一體機，既可以觀察樣品的形貌，同時又能進行元素的定性和定量分析。除了元素的點分析，元素的線面 掃功能可以進一步分析元素的分布情況。[詳細]

  2024-09-14 10:16

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• 飛納電鏡在考古文博中的應用

  飛納電鏡在考古文博中的應用[詳細]

  2024-09-27 23:54

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• 飛納臺式掃描電鏡在半導體行業中的應用

  飛納臺式掃描電鏡在半導體行業中的應用隨著近幾年半導體產業井噴式的增長，關鍵技術中掃描電鏡的使用也受到的重視，如今臺式電鏡的操作和維護越來越簡便，對國內半導體廠商來說無疑增加了研發和生產的利器，目前臺式掃描電鏡在半導體行業中主要是用來做形貌觀測，更重要的是做元素分析等。飛納臺式掃描電鏡擁有方便的操作，較好的維護，而且能結合能譜進行快速的元素分析，可以明顯提高企業效率，是半導體行業的**選擇。現在臺灣的臺積電，臺聯電紛紛登陸ZG，在武漢設廠，但是成品率，產值，效益都還很有待提高。大陸越來越有作為半導體代工工廠的能力了，如何扎實做好半導體工藝，提高半導體集成電路設計水平，是半導體/微電子行業未來的工作。半導體行業的市場現狀在日本，有人把半導體比喻為工業社會的稻米，是近代社會一日不可或缺的。在國防上，惟有扎實的電子工業基礎，才有強大的國防能力，1991年的波斯灣戰爭中，美國已經把新一代電子武器發揮得淋漓盡致。自1970年后，美國與日本間發生多次貿易摩擦，Z后在許多項目中美國都妥協了，但是為了半導體，雙方均不肯輕易讓步，Z后兩國政府慎重其事地簽訂了協議，足證對此事的重視程度，這是因為半導體工業發展的成敗，關系著國家的命脈，不可不慎。而在臺灣，半導體工業是新竹科學園區的主要支柱，半導體公司也是Z賺錢的企業，臺灣如果要成為明日的科技硅島，半導體工業是必經的途徑。經過幾十年的調整，在國內半導體行業景氣度也持續好轉。2016年，超過六成上市公司業績預增。其中，全志科技2015年年報顯示，實現營業利潤10883.00萬元，比上年同期增長11.02%；歸屬于母公司凈利潤12,797.54萬元，比上年同期增長15.99%。此外，中穎電子發布的一季報業績預告顯示，預計2016年13月份歸屬于上市公司股東的凈利潤為1300萬至1500萬元，同比增長84.14%至112.46%。其中，半導體及元件行業平均凈利潤增長率為14.38%。公司表示，報告期內，因客戶需求同比增加，銷售同比呈現增長，且因去年同期的盈利基期相對較低，盈利同比則大幅增長。飛納臺式掃描電鏡在半導體存儲芯片中的應用1、光學導航下的半導體樣品，可以清楚的定位到某一個區域，飛納電鏡du家的光學導航，具有內置彩色光學顯微鏡，不僅能實現快速定位到樣品感興趣位置，還能對樣品在光學下進行拍照，與電鏡下圖片進行對比：[詳細]

  2018-08-22 10:00

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• 飛納電鏡 Phenom Nano G2 場發射臺式場發射掃描電鏡能譜一體機

  飛納電鏡 Phenom Nano G2 場發射臺式場發射掃描電鏡能譜一體機[詳細]

  2024-01-12 09:21

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• 飛納電鏡在稀土永磁材料研究中的應用

  稀土永磁材料是將釤、釹混合稀土金屬與過渡金屬（如鈷、鐵等）組成的合金，是現在已知 的綜合性能的一種永磁材料。稀土永磁材料的磁能積、矯頑力、剩磁等性能都顯著高于 鋁鎳鈷合金、鐵氧體磁鐵等。稀土永磁可以產生超過 1.4 特斯拉的磁場，而傳統鐵氧體磁鐵 可產生的磁場強度大約只有 0.5-1特斯拉。稀土永磁按照組成主要分為兩種：釹鐵硼磁鐵和 釤鈷磁鐵；按照制備工藝主要分為燒結磁體、熱壓（熱流變）磁體和粘接磁體。[詳細]

  2020-06-29 15:18

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• 電子半導體材料檢測：飛納臺式掃描電鏡在電子半導體的應用方案

  要應對如此多樣的材料及復雜的工藝，需要耗費大量的精力和時間。飛納電鏡可滿足您多樣化的材料檢測要求及復雜的制程工藝管控，為您提供簡單·時效·精確的半導體檢測方案[詳細]

  2025-02-25 11:03

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• 飛納電鏡纖維統計分析測量系統在過濾產品中的應用

  飛納電鏡纖維統計分析測量系統在過濾產品中的應用[詳細]

  2022-04-18 11:01

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• 磁性材料放心測——飛納電鏡在稀土永磁材料研究中的應用

  稀土永磁材料是將釤、釹混合稀土金屬與過渡金屬（如鈷、鐵等）組成的合金，是現在已知 的綜合性能的一種永磁材料。稀土永磁材料的磁能積、矯頑力、剩磁等性能都顯著高于 鋁鎳鈷合金、鐵氧體磁鐵等。稀土永磁可以產生超過 1.4 特斯拉的磁場，而傳統鐵氧體磁 鐵可產生的磁場強度大約只有 0.5-1 特斯拉。稀土永磁按照組成主要分為兩種：釹鐵硼磁 鐵和釤鈷磁鐵；按照制備工藝主要分為燒結磁體、熱壓（熱流變）磁體和粘接磁體。 [詳細]

  2020-06-29 15:00

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• 飛納電鏡冷臺，神奇在哪里？

  飛納臺式掃描電鏡溫度控制樣品杯（簡稱“冷臺”）是飛納電鏡極具特色的選配件之一。它的出現拓寬了電鏡的觀察樣品范圍，涵蓋了包括液體、含水樣品、溫度敏感樣品、電子束敏感樣品等在內的多種一般電鏡很難或無法成像的樣品。如圖1所示是飛納電鏡溫度控制樣品杯和飛納臺式掃描電子顯微鏡，由黑色管線連接的部件，從左到右依次是溫控單元、操作面板、樣品杯。目前，溫度控制的范圍可達-25℃~+90℃，基本能夠滿足大部分的篩樣需求。[詳細]

  2018-08-22 10:00

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• 飛納電鏡鑒定中藥成分-朱砂

  研究證實，朱砂損害腎小管、腎小球，造成間質性腎病、腎壞死等，可導致腎功能衰竭，甚 至造成死亡。由于朱砂在兒童藥物中使用的比例大，對兒童的損害就更大。 據國內學者調查，含朱砂的中成藥有 60種以上，如朱砂安神丸、冠心蘇合丸、牛黃清心丸、 2 牛黃鎮驚安宮牛黃、柏子養心丸、再造丸、跌打丸、天王補心丹、七厘散、小兒回春丸、小 兒至寶丸、小兒百壽丹、小兒太極丸、小兒牛黃散、小兒保安丸、嬰兒樂、驚風散、小兒祛 痰定驚丸等。 [詳細]

  2020-06-29 15:34

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• 半導體工藝研究中的SEM應用實例

  半導體工藝研究中的SEM應用實例[詳細]

  2015-07-30 00:00

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• 飛納電鏡 | 聚合物填料研究的十八般武藝

  有機聚合物（英語：Polymer）是指具有非常大的分子量的化合物，分子間由結構單位（structural unit）、或單體由共價鍵連接在一起。這個聚合物（polymer）是出自于希臘字：polys 代表的是多，而 meros 代表的是小單位（part）[1]，所以很多小單位鏈接在一起的這種特別的分子，我們稱之為聚合物 [2]，例如塑料和高分子。掃描電鏡是研究聚合物材料的常見工具之一。 [詳細]

  2020-06-30 11:41

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• 飛納臺式掃描電鏡在纖維樣品中的應用

  隨著紡織行業的發展，紡織品的種類越來越多，例如玻纖、芳綸、海藻、水刺、機器織物等等，精細化程度越來越高，對功能的需求也越來越多樣化，因此，對成品紡織品的檢測要求也越來越高，需要看到更細致的微觀結構，普通的光學顯微鏡不能滿足精細化要求，必須要通過掃描電子顯微鏡來完成。通常的掃描電鏡拍不導電的紡織樣品都需要進行噴金處理后才能放到電鏡里觀測，飛納臺式掃描電鏡可以不用鍍金直接看，且分辨率極高，圖1是不噴金直接觀測的機織樣品；圖2是靜電紡絲樣品。圖1圖2[詳細]

  2018-08-22 10:00

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• 汽車制造巨頭引入飛納電鏡

  2018 年 8 月，廣汽集團引進飛納臺式掃描電鏡大樣品室版 Phenom XL。 目前，廣汽集團測樣量的樣品就是零部件的斷裂/開裂的失效分析（金屬斷口）。 金屬斷口通常是一個凹凸不平的粗糙面，而且是塊狀樣品，取樣容易，在掃描電鏡的樣品倉中可進行傾斜旋轉多角度觀察，因此掃描電鏡非常適合斷口分析。 [詳細]

  2020-06-29 14:46

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• 飛納電鏡在運用手套箱行業的解決方案

  手套箱是一種將高純惰性氣體充入箱體內，并循環過濾掉其中的活性物質的實驗室設備， 也稱真空手套箱、惰性氣體保護箱。手套箱可以有效清除箱體內的氧氣、水蒸氣和其他有機 氣體，多用于創造無水、無氧、無塵的超純環境，以適應一些特殊材料的存放、實驗環節， 特別是容易與空氣產生劇烈反應的或有毒有害材料，如：鋰離子電池及材料、半導體、超級 電容、特種燈、激光焊接、釬焊、材料合成、OLED、MOCVD 等。也包括生物方面應用， 如厭氧菌培養、細胞低氧培養等。將這些敏感樣品保存在氬氣等惰性氣體環境的任務比較具 有挑戰性，因此手套箱通常設計有多個前室，負載鎖定及吹掃循環等復雜系統。得益于工藝 的進步，手套箱的設計正在逐步上升，對樣品的保護效果也越來越好。 [詳細]

  2024-09-11 19:52

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• Panalytical 臺式能譜儀在油品分析中的應用

  Panalytical 臺式能譜儀在油品分析中的應用[詳細]

  2024-09-19 06:27

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• Panalytical E3x 能譜儀在環境監測中的應用

  Panalytical E3x 能譜儀在環境監測中的應用[詳細]

  2024-09-27 23:50

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