PHI用戶賞析I歐陸埃文思:全球頂尖材料分析合作伙伴
歐陸埃文思材料科技(Eurofins EAG)隸屬于跨國上市集團(tuán)歐陸集團(tuán)(Eurofins Scientific),是全球規(guī)模最大、分析能力最完備的第三方材料與失效分析實(shí)驗室。自1978年創(chuàng)立于美國硅谷(前身為Charles Evans and Associates),EAG已在全球設(shè)立20家實(shí)驗室,配備最齊全的實(shí)驗設(shè)備及經(jīng)驗豐富的技術(shù)團(tuán)隊。憑借40余年材料測試經(jīng)驗,EAG已成為新產(chǎn)品開發(fā)、工藝監(jiān)控、質(zhì)量控制和失效分析領(lǐng)域不可或缺的合作伙伴,致力于提升產(chǎn)品性能、縮短研發(fā)周期、提高良率、降低生產(chǎn)成本并增強(qiáng)客戶市場競爭力。
EAG通過分析材料的物理與化學(xué)性質(zhì),精準(zhǔn)獲取化學(xué)成分、微量元素(摻雜/雜質(zhì))濃度與分布以及材料結(jié)構(gòu)信息。核心技術(shù)包括:SIMS、GDMS、ICP-MS、Auger、XPS、TEM、SEM、FTIR、TOF、Raman、XRD、XRR、XRF。EAG作為材料分析行業(yè)的標(biāo)桿,尤其在SIMS領(lǐng)域樹立了全球標(biāo)準(zhǔn):提供最優(yōu)檢測靈敏度、精準(zhǔn)雜質(zhì)濃度數(shù)據(jù)及清晰膜層結(jié)構(gòu)解析。其深耕SIMS技術(shù)45年積累的獨(dú)家經(jīng)驗、專注度與技術(shù)投入,目前尚無其他商業(yè)實(shí)驗室可匹敵。EAG擁有全球最大的SIMS測試平臺(超50臺設(shè)備)及頂尖科學(xué)家團(tuán)隊,并建立了世界規(guī)模最大的SIMS定量標(biāo)準(zhǔn)樣品庫(含7000+離子注入/體摻雜標(biāo)準(zhǔn)樣品),持續(xù)鞏固其在SIMS分析領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者地位。
歐陸埃文思材料科技(上海)有限公司作為EAG亞洲分析中心,專注于提供材料表征與顯微分析服務(wù),核心技術(shù)涵蓋微量元素分析、表面分析、電子顯微鏡、失效分析。其服務(wù)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體深亞微米工藝開發(fā)、第三代/第四代新材料研發(fā)、工藝量產(chǎn)化支持、設(shè)備驗證、制造問題解決及第三方產(chǎn)品認(rèn)證。
EAG長期采用ULVAC-PHI分析設(shè)備構(gòu)建表面分析體系,包括:10余臺Q-SIMS(PHI ADEPT 1010),AES(PHI 680),XPS(PHI GENESIS),提供從元素分布(SIMS)、表面化學(xué)態(tài)(XPS)到微觀形貌(AES)的全鏈條分析能力,實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體失效分析中“亞微米級缺陷的精確定位”。
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