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Bruker Dektak Pro布魯克臺階儀

品牌：德國布魯克
產地：美洲美國
供應商報價：面議

上海爾迪儀器科技有限公司更新時間：2024-12-31 09:11:20

銷售范圍售全國

入駐年限第9年

營業執照已審核

同類產品輪廓儀/白光干涉儀(4件)

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產品特點

Dektak Pro? 以其多功能，使用的便捷性和在薄膜厚度、臺階高度、應力、表面粗糙度和晶圓翹曲測量方面廣受贊許。第十一代Dektak?系統，具有4?重復性的卓越表現，并提供200毫米平臺選項。

詳細介紹

Bruker Dektak Pro布魯克臺階儀

Dektak Pro? 以其多功能，使用的便捷性和在薄膜厚度、臺階高度、應力、表面粗糙度和晶圓翹曲測量方面廣受贊許。第十一代Dektak?系統，具有4?重復性的表現，并提供200毫米平臺選項，在科研以及工業領域中可以為材料的表面形貌提供各種分析。Dektak Pro在表面測量方面設立了新的標桿，是微電子技術、薄膜與涂層和生命科學應用的理想選擇。

Dektak Pro可提供：

測量和分析功能，確保每次都能獲得準確、嚴謹的數據

多功能性和便捷性，精簡的軟件和簡便的探針更換

通過直驅掃描平臺和軟件進步，減少獲得結果的時間

Dektak Pro產品參數

測量技術	探針輪廓測量（接觸測量）
測量功能	二維表面輪廓測量；可選三維測量
樣品視野	可選放大倍率， 0.275到2.2 mm
探針傳感器	低慣量傳感器（LIS 3）
探針壓力	1到15 mg，使用LIS 3傳感器
低作用力	N-Lite+ 精微力傳感器，0.03到15 mg（可選）
探針選項	探針半徑選項從50 nm到25 μm；高徑比（HAR）針尖200 μm x 20 μm；可根據客戶要求提供定制針尖
樣品臺 XY載物臺	手動100 mm（4"），手動調平；電動150 mm（6"），手動調平；帶編碼器電動200 mm（8"），手動調平
樣品旋轉臺	手動或自動，連續360°
減震裝置	減震裝置可用（選配）
掃描長度范圍	55 mm（2"）；200 mm（8"）具備掃描拼接能力
每次掃描數據點	可達120,000個數據點
樣品厚度可達	50 mm (1.95")
晶圓尺寸可達	200 mm (8")
臺階高度重復性	4 ?, 1 sigma （ ≤1 μm 標準臺階樣品)
垂直范圍	1 mm (0.039")
垂直分辨率	1 ? (@ 6.55 μm 范圍)
輸入電壓	100 到 240 VAC, 50 到 60 Hz
溫度范圍	工作范圍20到 25°C (68 到 77oF)
濕度范圍	≤80%, 無冷凝
系統尺寸與重量	尺寸：455 mm W x 550 mm D x 370 mm H（17.9" W x 22.6" D x 14.5" H）；重量：34 kg（75 lb）；外殼尺寸：550 mm L x 585 mm W x 445 mm H（21.6" L x 23" W x 17.5" H）；外殼重量：5.0 kg（11 lb）