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BS-80011BPG產(chǎn)生高密度等離子體的內(nèi)置型等離子源
- 品牌：日本電子
- 型號(hào)： BS-80011BPG
- 產(chǎn)地：亞洲 日本
- 供應(yīng)商報(bào)價(jià)：面議
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深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司
更新時(shí)間：2025-05-30 09:17:56 -
銷(xiāo)售范圍售全國(guó)
入駐年限第7年
營(yíng)業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類(lèi)產(chǎn)品日本電子 JEOL 掃描電鏡(35件)
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產(chǎn)品特點(diǎn)
- 日本JEOL BS-80011BPG產(chǎn)生高密度等離子體的內(nèi)置型等離子源，安裝在真空室內(nèi)產(chǎn)生高密度等離子體的等離子體源。利用和真空蒸鍍結(jié)合的等離子體輔助沉積技術(shù)（離子鍍），能提高光學(xué)薄膜、保護(hù)膜、功能膜等的薄膜特性。另外，還可以用作等離子處理如對(duì)清洗基板和表面改性也很有效。
詳細(xì)介紹
安裝在真空室內(nèi)產(chǎn)生高密度等離子體的等離子體源。利用和真空蒸鍍結(jié)合的等離子體輔助沉積技術(shù)（離子鍍），能提高光學(xué)薄膜、保護(hù)膜、功能膜等的薄膜特性。另外，還可以用作等離子處理如對(duì)清洗基板和表面改性也很有效。
· 產(chǎn)品規(guī)格
最大放電輸出
3.2kW (160V, 20A)
最大輔助輸出功率
2kW (200V, 10A)
工作壓力
8×10-3 ～ 8×10-2Pa (Ar, O2, N2 氣氛)
放電氣體(Ar)
8 ～ 20mL/分
適用控制電源
BS-92040CPPC
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廠(chǎng)商推薦產(chǎn)品
滬公網(wǎng)安備 31011502008050號(hào)