產品型號

GSL-LCD(控制面板為觸摸屏）

技術參數

功能

雙通道

三通道

四通道

五通道

質子流量控制器

工作溫度：5~45oC
ZD壓力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
線性: ±（0.5-1.5）%F.S.重復精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用

工作溫度：5~45 oC
ZD壓力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
線性: ±（0.5-1.5）%F.S.
重復精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用

工作溫度: 5~45 oC
ZD壓力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
線性: ±（0.5-1.5）%F.S.重復精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用

工作溫度: 5~45 oC
ZD壓力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
線性: ±（0.5-1.5）%F.S.
重復精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客戶要求定制

產品規格

外形尺寸：600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

輸入電源

AC 220V/50Hz單相

功 率

23W

PLC觸摸屏

各通道的氣路設定和查看都集中在一6"的觸摸屏上

RS485 通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上，進行遠程控制

機械壓力表

有一機械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接

量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

針 閥

316 不銹鋼

通氣管道

內部連接管道為1/4”不銹鋼管

外部通氣管道為1/4”聚四氟管

混氣罐

Φ80X120mm

截止閥及配件

316不銹鋼針閥

Φ1/4” 不銹鋼管