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X射線圖
- 品牌：納騰
- 產地：上海 徐匯區
- 供應商報價：面議
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上海納騰儀器有限公司
更新時間：2025-03-17 17:30:12 -
銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業執照
- 同類產品SEM/TEM/FIB/X-ray耗材(6件)
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詳細介紹
簡介
NTT的X射線圖的大特點是高耐X射線輻射性、超清晰圖案和低邊緣粗糙度。本公司基于Ta吸收體圖的SiC膜較為其精確，能為用戶的X射線分析系統評估提供清晰的圖像
有三種X射線圖可應用于各種方面：標準型、高分辨率和高對比度型以及超高分辨率型。可為用戶的系統定制圖案布局和基板尺寸。
項目
標準型
XRESO-100
高分辨率型
帶較厚Ta
吸收體
XRESO-50HC
新！！
超高分辨率
XRESO-20
基板
材料、尺寸
Si 10 mm2
厚度
1mm
1mm
0.625mm
膜
材料、
厚度
Ru 20 nm
SiN 2μm
Ru 20 nm
SiC 200 nm
SiN 50 nm
Ru 20 nm
SiC 200 nm
SiN 50 nm
圖案
吸收體、
厚度
Ta 1μm
Ta 500 nm
Ta 100 nm
小圖案尺寸
100 nm
50 nm
20 nm
放射形圖案
圖案區域
250μm×350μm
300μm2
300μm2
- X射線顯微鏡
- XUV / X射線相干成像
- 超細X射線檢查
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