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卷對卷電漿輔助化學氣相沉積系統(PECVD)

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卷對卷電漿輔助化學氣相沉積系統(PECVD)


卷對卷電漿輔助化學氣相沉積系統(PECVD)第16頁-59.PNG


●基板尺寸:WidexL=30 mmx100M或其他

●濺鍍源:13.56 MHz RF或2.45 GHz 微波

●基板加溫:Max800℃

●自動傳輸制程


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