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四方儀器紅外氣體傳感器半導體行業薄膜沉積工藝CVD設備的EPD氣體檢測 Gasboard-2060

品牌：四方儀器
型號： Gasboard-2060
產地：湖北武漢
供應商報價：面議

四方光電（武漢）儀器有限公司更新時間：2025-05-27 09:00:36

銷售范圍售全國

入駐年限第10年

營業執照已審核

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四方儀器紅外氣體傳感器 Gasboard-2061 半導體行業薄膜沉積工藝CVD設備的EPD氣體檢測

 四方儀器紅外氣體傳感器半導體行業薄膜沉積工藝CVD設備的EPD氣體檢測 Gasboard-2060

四方儀器紅外氣體傳感器半導體行業薄膜沉積工藝CVD設備的EPD氣體檢測 Gasboard-2060 核心參數

檢測原理	NDIR	檢測氣體	SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2
量程	1~264ppm(0~200mTorr)	重復性	±0.5%
線性	±1%F.S.	檢測限	1ppm

產品特點

使用NDIR技術，多氣體監測支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
響應時間快，高靈敏度
無耗材
模擬/數字通信
模塊化設計，便于集成

詳細介紹

產品名稱：紅外氣體傳感器

產品型號：Gasboard-2060

紅外氣體傳感器產品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發的高性能氣體傳感器，產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協議，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節約成本,提高產量。

紅外氣體傳感器產品特性