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儀器網/ 應用方案/ 幾種SIMS的原理

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文章簡單介紹了SIMS的工作原理及可應用范圍 EQS 是差式泵式二次離子質譜（SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer Bolt-On probe），可分析來自固體樣品的二次陰陽離子和中性粒子采用Z*技術 的SIMS 探針，便于連結到現有的UHV表面科學研究反應室 二次離子質譜探針

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